(Fluoro Carbon Rubber) 分子内含氟之橡胶，依氟含量 ( 即单体构造 ) 而有各种类型。目前广用的六氟化系氟橡胶最早由杜邦公司以 ”Viton” 商品名上市。耐高温性优于硅橡胶，有极佳的耐化学性、耐大部分油及溶剂 ( 酮、酯类除外 ) 、耐候性及耐臭氧性；耐寒性则较不良，一般使用温度范围为 -20~250 ℃。特殊配方可耐低温至 -40 ℃。
优点：
· 可抗热至 250 ℃
· 对于大部份油品及溶剂都具有抵抗的能力，尤其是所有的酸类、脂族烃、芳香烃及动植物油
缺点：
· 不建议使用于酮类，低分子量的酯类及含硝的混合物。 · 汽车、机车、柴油发动机及燃料系统。
适用范围:
· 化工厂的密封件。
全氟橡胶 FFPM
(Perfluoroelastomer) 优点：
· 最佳耐热特性
· 优异的抗化学特性
· 低Outgassing 特性
· 优异之抗Plasma特性
缺点：
· 耐低温特性较差
· 原料价格较高
· 生产难度较高
适用范围:
· 全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。
硅氟橡胶
FLS
(Fluorinated Silicone Rubber) 硅氟橡胶为硅橡胶经氟化处理，其一般性能兼具有氟橡胶及硅橡胶的优点；其耐油、耐溶剂、耐燃料油及耐高低温性均佳，一般使用温度为 -50~200 ℃。
优点：
· 适用于特别用途，如要求能抗含氧的化学物、含芳香氢的溶剂及含氯的溶剂的侵蚀。
缺点：
· 不建议暴露于煞车油，酮类及胼的溶液中 · 太空机件上。
（FFKM）O型圈
全氟醚橡胶是由TFE（主链）、PMVE（支链）及架桥部所构成，它不仅具有像PTFE一样优异耐高温，耐化学腐蚀的性能（可耐1600余种化学品的腐蚀），还兼备了橡胶的弹性，其在300℃时的压缩变形率也仅在50%以下。普通全氟橡胶工作温度范围为-25℃~+240℃间，Kalrez7075耐高温可达327℃，即使当暴露在316℃的恒温中或像343℃这样的间歇高温环境中，Kalrez制作也不会发生导致密封失效的硬化和脆化，Kalrez在与侵蚀性流体的浸渍直接接触中依然能保持其弹力和回弹性能。事实上，Kalrez的热稳定性往往超过了那些流体本身。全氟橡胶还具有优异的气密性（耐真空度可达1.33X10-7-1.33X10-8pa)和高洁净性以及耐离子体性,这些特点在半导体行业的应用也非常广泛.
